工具顯微鏡一般是通過主顯微鏡瞄準工件影像進行測量的，它以影像法軸切法、接觸法和干涉法按平面直角坐標，極坐標及圓柱坐標精確地測量長度和角度，并可檢驗復雜的幾何形狀，是常用的一種光學計量儀器。工具顯微鏡工作原理是：將測件置于照明系統中，通過帶有正象棱鏡的中央顯微鏡，經物鏡放大，將影像顯于目鏡分劃板上使與目鏡分劃板上的各標記進行瞄準定位，最后借助于縱橫向讀數系統，確定兩次定位的坐標位置，從而達到測量的目的。

　　工具顯微鏡的使用步驟：

　　1、測量前檢查工具顯微鏡是否處于正常工作狀態。

　　2、測量方法的選擇：

　　分析測量特點，運用測量原理，選擇測量基準及瞄準方式，根據適當的測量條件及測量誤差的分析而確定測量方法，以保證制造出質量合格的零件及產品。測量方法還得講究效益、降低成本。

　　3、測件清洗

　　把測件的基準和被檢的點、棱邊、面、孔、圓弧等上的毛刺、鐵屑及油污清洗干凈。

　　4、測件恒溫

　　測件和工具顯微鏡應同在20℃情況下才能進行測量，應當恒溫在20℃±1℃的范圍內，否則就有誤差。溫度不同時，所引起的誤差可用下列公式計算：

　　△L=L[αp(Tp-20)-αn(Tn-20)]

　　式中：△L為測件與基準件線膨脹系數不同且不同一溫度測量而引起的測量誤差。

　　αp和Tp為測件的線膨脹系數和溫度。

　　αn和Tn為基準件的線膨脹系數和溫度。

　　假如測件與基準件溫度相同，則公式可簡化成：

　　△L=L(αp-αn)(T-20)

　　也可以根據上述公式反過來確定工具顯微鏡測件應恒溫到什么程度。

　　5、測量需要的專用工具應事先準備好，如芯棒、量棒、刀口尺、平尺、墊鐵及各種扳手等。